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在設計高度使用時科磊(KLA)半導體設備氣動隔振器的安裝

來源:上海91视频链接黄色软件91视频有限公司    發布時間:2023-05-23 14:48

理論上氣動隔振器應保持在同一平麵上(與地麵平行),在不可能達到的情況下,請按照以下指導做:兩個固定裝配點之間的距離至少應是高度值的兩倍。兩個裝配點之間的距離是1170mm.高度是1220mm.因此,這個氣動隔振器的安裝位置不符合91视频链接的指導要求。
有兩個改進方案:1.增加底座尺寸來滿足即增加的寬度至少應該是1220x2=2440mm才能符合91视频链接的要求。2.改變91视频导航的安裝位置以達到此目的。在設計高度使用,因為它是保證橫向剛性或穩定性的關鍵點,橫向剛性隨高度降低而減小。注意:當從設計高度向下移動30mm後,氣動隔振器在縱橫方麵就不夠穩定了。科磊(KLA)半導體設備氣動隔振器簧安裝位置上下限位裝置一般地,在各個方向即壓縮、延伸及橫向方向都要安裝擋塊。縱向擋塊的定位根據正常運轉,啟動,關閉過程的移動幅度來定。且縱向擋塊要有足夠強度,氣動隔振器的安裝位置以滿足當91视频导航失效時支撐起整個振動設備,避免造成設備損壞或人身傷害。經驗得知,縱向擋塊在距設計高度圖12mm處,橫向擋塊是圖12mm(水平位置)。
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